紀念兩岸半導體交流會25周年

朱貽瑋|朱貽瑋|Zhu Yizhen|

2022-06-06 14:51:53 36

·歷史回顧：

25年前，1997年5月29日至6月2日，中國大陸半導體界29人經香港到臺灣新竹參加《兩岸半導體學術研究與產業發展研討會》，從此推進了兩岸半導體、尤其是集成電路行業之間的交流與合作快速向前發展。這次會議由臺灣電子材料與元件協會（EDMA）發起主辦，中國半導體行業協會（CSIA）配合組團赴臺參會。會前EDMA秘書長馮明憲和CSIA秘書長陳文華做了大量籌備工作。大陸代表團由CSIA理事長樓潔年任團長，包含大學7人、研究所10人、.工廠公司7人、政府機關3人和協會2人。其中包括當時大陸主要的集成電路企業：華晶、華越、貝嶺、首鋼日電，以及燕東。臺灣方面參加38人，包括主要集成電路公司（臺積電、聯華電子、茂矽、茂德、*宏和*先進）、大學和研究單位。

研討會上主要報告有張俊彥（EDMA理事長）所作“臺灣半導體之技術現況與未來展望”和鄭敏政（中國電子工業部基礎產品司副司長）所作“大陸集成電路發展策略”。然后，會議分三組進行學術研究和產業發展論文宣講。會議經過討論后取得今后在半導體領域開展合作的共識，合作內容包括臺灣協助大陸發展集成電路生產，提高量產效益，在集成電路產業上引

進資金、人才和技術等。

新竹會議之后不久，臺灣方面組織了“大陸半導體產業投資考察訪問團”，于1997年7月21日至8月3日先后訪問了北京和上海。由茂矽電子公司*顧問蔡南雄任團長，團員包括EDMA秘書長馮明憲和各公司總經理、副總經理。這次考察探討了臺灣集成電路產業界來大陸投資設硅片加工廠的可能性。在拜訪電子工業部時，部總工程師俞忠鈺則建議先到國有的兩大集成電路企業：無錫華晶集團和紹興華越公司，探討合作的可能性。為此，考察團到上海后又去了江蘇無錫，參觀訪問了華晶集團公司，從此揭開了兩岸半導體合作的序幕。

·合作舉例：

一、華晶上華

華晶集團公司在20世紀90年代后半期頭兩三年執行*的“908”工程，從美國郎迅公司引進0.9微米CMOS工藝技術6英寸芯片生產線。但引進的產品缺乏市場，沒法形成規模生產，而且原有5英寸MOS線連續幾年處于虧損狀態。1997年9月底開始，蔡南雄、馮明憲和蕭常輝（原香港華智公司）等人組成的海外華人代表團與華晶開始談判。后來美籍華人陳正宇博士（臺灣茂矽總經理）代替蔡南雄帶領談判，前后經過四個半月多次談判，到12月18日雙方就合作運行華晶5英寸和6英寸MOS電路芯片工藝線達成協議。海外華人半導體企業家和專家在香港成立了上華半導體投資公司，于1998年2月1日開始以“來料加工、委托管理”模式管理華晶MOS事業部。上華將過去華晶采用的IDM（垂直集成）管理模式改為Foundry（代工）模式。這種代工模式是臺灣臺積電公司于1987年在*上首創的，大陸地區的純粹加工模式則是上華管理華晶MOS事業部開始的。陳正宇請美籍華人張汝京擔任副總經理，由他帶來團隊建立了一套做代工的管理制度。之后又請回蔡南雄擔任總經理，將6英寸片月產片量提高到5000片。華晶與上華后來成立華晶上華合資公司，到2002年香港華潤集團收購華晶后改為華潤上華公司，又在無錫新區建了8英寸線，持續不斷地向前發展。

二、清華大茂

清華大學微電子所所長錢佩信教授參加兩岸半導體研討會后，探索與臺灣同仁合作的路子，從1998年9月開始與臺灣交通大學馮明憲教授為首的團隊經過8個月的談判，到1999年4月28日雙方簽署了合作協議書。對方是馮明憲任董事長的大茂電子公司。大茂協助清華建設5英寸線，使其成為能小批量生產的、科研與生產相結合的工藝線。經過提升凈化間凈化條件后安裝調試設備，通過工藝試驗轉入流線。最后將鋁柵CMOS芯片月產量達到3000片5英寸片的水平。雙方合作結果將過去只能出樣品和禮品的科研線建成能出產品、并能進入市場的小批量生產線。

三、滬京新案

到二十世紀末，中國大陸電子工業最大投資項目909工程于1999年2月23日在上海浦東金橋

建成中國大陸*條8英寸超大規模集成電路芯片生產線，這是華虹NEC合資公司執行的，投產后生產DRAM產品。*于2000年6月底公布18號文件《鼓勵軟件產業和集成電路產業發展的若干政策》后，北京和上海兩地積極響應。上海早在1998年就在西郊賓館召開了微電子工業發展國際研討會。

張汝京在北京大學王陽元院士陪同下到上海，于2000年4月創立中芯國際公司，張汝京出任總裁兼
CEO，從海內外募集資金，吸引大批海外華人半導體技術人員來到張江，高速度建起了3條8英寸芯片生產線。緊接著上海成立另一家宏力公司，由蔡南雄出任總經理，到2003年9月也建成一條8英寸芯片生產線。北京則請回中芯國際張汝京于兩年時間內在亦莊經濟技術開發區建成了中國大陸*條12英寸芯片生產線，在2004年9月底開始投入生產。這距*1999年建成*條12英寸線僅5年之后。從此中芯國際迅速成長為中國大陸集成電路制造企業的領頭羊，無論在技術水平上、還是產量規模上，都位居*。

四、寧波中緯

*發布18號文件之后，馮明憲等人組建的亞太科技公司在2002年到浙江寧波保稅區籌建6英寸廠。從臺灣臺積電公司引進其一廠的6英寸工藝設備和技術，于2004年7月投產。這是浙江省*條6英寸線。這是臺灣獨資性質，也采用代工模式，盡管產品質量優良，后因銀行貸款到期還不了而被拍賣給比亞迪，之后成為比亞迪汽車自用IGBT產品的生產基地。

·交往延續：

在2003年年末，亞太科技公司邀請大陸集成電路設計公司和潔凈廠房設計公司組團，在中國半導體行業協會秘書長徐小田帶領下去臺灣進行訪問，參訪了臺灣相應的公司，進行了交流，加深了友誼。

到了2013年11月27日，在臺灣南投舉辦了第二次兩岸半導體產學研會議。這次會議由臺灣電子材料與元件協會、敏泰科技公司及臺灣暨南大學籌備。大陸方的主要代表為中國科學院微電子所及半導體所，由微電子所所長葉甜春研究員領隊，共計25人。清華大學微電子所所長魏少軍教授（曾參加*次新竹會議）和廈門大學電子工程系/廈門電子學會郭東輝教授也參加了這次會議。會中除了專業技術報告及合作研討之外，還作出兩項提議：一是下次兩岸產學研合作會議在廈門舉行，由廈門大學及廈門電子學會主辦；二是在廈門推進建立兩岸半導體產學研的合作示范基地。會后經兩岸的授權代表：臺灣電子材料與元件協會理事長鄭晃忠教授及廈門電子學會會長郭東輝教授共同簽署了“共建廈門兩岸電子科技創新園”的合作協議。當年同時，在臺北也召開了兩岸合作會議，由前臺灣清華大學校長/臺灣行政機構負責人劉兆玄創辦的李國鼎基金會邀請大陸科技部部長萬鋼率領的科技部委組成的訪問團，雙方進行交談。之后促成了后來廈門聯芯、合肥晶合、南京臺積電和晉江晉華四座12英寸芯片廠計劃和推進落地。同時也促進兩岸清華大學在廈門推動成立廈門清華海峽研究院的創立運作，成為兩岸半導體科研教學合作的主要承載平臺。

之后，2014年間又分別在北京中科院微電子所（4月10日和5月20日）和廈門火炬高新技術開發區管委會及創業中心（6月24日和10月16日）舉行四次項目推進會。兩岸雙方都有眾多單位參加。到了近幾年，這項提議具體展示為在廈門/金門地區建立廈門（金門）兩岸微電子創新產業園的兩岸半導體產官學研的合作平臺，現正在積極推進中。

2015年3月30日臺灣交通大學原校長張俊彥院士和臺灣清華大學研發長張翼等一行到北京參訪了中科院微電子所和清華大學，進行了學術交流。

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21世紀以來，在20余年間，當中國大陸大力發展集成電路制造業時，海外華人半導體技術人才紛紛到中國大陸來發揮才能。當初中芯國際和宏力兩公司在上海張江園區建設之時，成百上千海外專業人才從美國、新加坡、中國臺灣和和香港飛來上海。參加1997年新竹會議的林大野（美籍華人，當年任臺灣茂德專案經理）于2005年9月加盟深圳方正微電子公司，在其帶動下，先后有8名臺灣和1名美籍技術人員加入，初步形成技術團隊，和大家一起努力在深圳方正微建成一條6英寸芯片生產線。另一位是參加會議的梁孟松，當年任臺積電公司處長，他于2017年10月16日由中芯國際宣布被任命為聯合CEO兼執行董事，4年多來帶領研發團隊在短期內把14納米投入量產，并在沒有EUV光刻機的條件下沖剌7納米工藝技術。

·重大進展：

從1997年5月29日召開臺灣新竹交流研討會迄今已過去25年，中國大陸和臺灣地區集成電路產業都有了很大發展，兩岸半導體界合作項目和臺灣企業到大陸設廠也愈來愈多。早在2001年11月從聯電出來的臺灣團隊就在江蘇蘇州成立和艦科技公司，建設一條8英寸芯片生產線。緊接著2003年8月臺積電（中國）有限公司在上海松江成立，也建設一條8英寸芯片生產線。到2014年6月*發布24號文件《*集成電路產業發展推進綱要》，并設立*集成電路產業投資基金一期之后，由此拉開了中國大陸半導體產業騰飛的序幕。臺灣企業與大陸地方政府經過多年溝通談判，紛紛到大陸來建12英寸廠。先有聯電于2014年10月到福建廈門合作建聯芯公司，做代工。再是力晶公司于2015年5月到安徽合肥合作建晶合公司，生產液晶面板LCD驅動電路。然后臺積電公司于2016年5月到江蘇南京成立臺積電（南京）公司，獨資建12英寸廠，技術為16納米。再是聯電又于2017年到福建晉江合作成立晉華公司，做DRAM產品。現今臺灣臺積電公司在集成電路制造技術水平上居**地位，5納米芯片已經量產，3納米芯片即將投入生產，2納米技術研發進展順利。臺積電承擔全球一半的代工量。中國大陸中芯國際14納米已經量產，在美國限制荷蘭ASML公司不向中國交付EUV光刻機的局面下，中芯國際仍努力研發7納米技術。中芯國際已成為*第四大代工企業。

·展望愿景：

回想25年前參加研討會的兩岸半導體業者和會后在兩岸交流中作出重大貢獻者，有的已離我們而去，如臺灣的張俊彥院士和陳正宇博士，大陸的13所梁春廣院士、CSIA前秘書長陳文華和參會時的華越陳賢（后任CSIA秘書長和副理事長）。他們生前努力付出的兩岸半導體交流和合作活動在未來的年代里必將長遠地發展下去！讓我們大家在未來的時日里一起努力，祝愿在兩岸半導體交流與合作領域里開出更大更多的花朵，結出更大更多的碩果！

朱貽瑋
2022年5月29日

說明：兩岸半導體界聯系歷史過程：

·1991年冬天，蔡南雄在吳沈棟（清華大學無線電專業1957級）陪同下到北京西宛飯店見北京燕東公司副總經理朱貽瑋（清華大學半導體專業1957級），當時蔡南雄任香港華智公司總經理。香港華智前身是愛卡公司，這是由北京電子管廠王正華、王思詳、葉小琳等人（三位都是清華大學校友：電機系1952級、半導體專業1956級和1957級）協助榮智健（榮毅仁之子）建的4英寸芯片線。后來參加香港上華公司到無錫華晶工作的蕭常輝和余楚榮都在愛卡和華智工作過。

·1996年8月，臺灣電子材料與元件協會秘書長馮明憲（臺灣清華大學材料科學與工程學系1978年入學）到北京凱賓斯基飯店見電子工業部徐小田處長，提出邀請大陸半導體同仁到臺灣開交流會。后由中國半導體行業協會秘書長陳文華與馮明憲保持聯系赴臺事宜。原提去50人，國臺辦批準為30人。清華大學微電子所所長錢佩信（半導體專業1955級）提出高校和研究單位建議名單，朱貽瑋提出工廠公司建議名單，最后由行業協會定下30人名單。由行業協會理事長樓潔年（清華大學半導體1956級）領隊，共29人于1997年5月29日到臺灣新竹參加會議。大會上代表大陸方面作主要報告的是電子工業部基礎產品司副司長鄭敏政（清華大學半導體專業1963級）。

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