芯片無塵室的構成與檢測

芯片智造|其他|other else|

2023-03-29 05:16:26 787

無塵室(Clean Room)，亦稱為無塵室或潔凈室。它是污染控制的基礎。沒有無塵室，污染敏感零件不可能批量生產。在 FED-STD-209E里面，無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，（公眾號：芯片智造）從而達到適當的微粒潔凈度級別。無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。

標準

*各國均有自定規(guī)格，但普遍依據美國聯邦政府頒布的標準【Federal Standard (FS) 209E, 1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，（公眾號：芯片智造）如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述，則可假設塵粒的尺寸為0.5μm，例如，1級、10級、100級無塵室最大塵粒數目分別小于或等于1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是0.5μm，無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如：10級在0.2μm(塵粒尺寸在0.2μm或更大下，（公眾號：芯片智造）密度不大于75顆/立方英尺)，1級在0.1μm(塵粒尺寸在0.1μm或更大下，密度不大于35顆/立方英尺)。

構成

一,隔間

二,風系統(tǒng)

三,水系統(tǒng)

四,空調控制系統(tǒng)

五,其他系統(tǒng)

隔間
萬級無塵室隔間分為三大部分,更衣室,千級區(qū)和百級區(qū),更衣室與千級區(qū), 千級區(qū)和百級區(qū)均設風淋室(airshower), 無塵室與室外設有物品出入通道傳遞箱(passbox).當人員進入無塵室時,首先要經過風淋室,對人體所帶的灰塵吹淋,減少人員帶入無塵室的灰塵. （公眾號：芯片智造）傳遞箱則是對物品灰塵進行吹淋,達到落塵的效果.

風系統(tǒng)

風系統(tǒng)流程

系統(tǒng)采用的是全新風空調箱+FFU系統(tǒng).

全新風空調箱結構

FFU:(FAN FILTER UNIT) 即風機和過濾器

千級區(qū)過濾器采用HEPA,過濾效率99.997%,百級區(qū)過濾器采用ULPA,過濾效率99.9995%

水系統(tǒng)

水系統(tǒng)流程

冰水系統(tǒng)分為一次側和二次側.

一次側冰水水溫7-12度,供給空調箱和風機盤管,二次側冰水12-17度供給干盤管系統(tǒng).（公眾號：芯片智造）

一次側冰水和二次冰水為兩個不同的回路,之間由板式換熱器連接.

板式換熱器原理

干盤管:不結露的盤管,因無塵室溫度在22度,其露點溫度12度左右,故7度冰水不能直接進入無塵室,所以進干盤管的冰水溫度在12-14度.

控制系統(tǒng)(DDC)

溫度:干盤管系統(tǒng)控制

濕度:空調箱調節(jié)通過感測的信號,（公眾號：芯片智造）控制三通閥開度來調節(jié)空調箱盤管進水量

正壓:空調箱調節(jié),根據靜壓感測的信號,自動調節(jié)空調箱馬達變頻器的頻率,從而調節(jié)進入室內的新風量.

其他系統(tǒng)

不只是空調系統(tǒng), 無塵室系統(tǒng)中還包括有真空,空壓,氮氣,純水,廢水,二氧化碳系統(tǒng),制程排氣系統(tǒng),

檢測標準：

1.氣流速度及其均勻度檢測，這項檢測是無塵室效果的其他各項檢測的前提，（公眾號：芯片智造）這項檢測的目的是為了明確單向流無塵室工作區(qū)的平均氣流通度及其均勻性。

2.系統(tǒng)或房間的風量檢測。

3.室內潔凈度的檢測。潔凈度的檢測是為了確定潔凈環(huán)境可達到的空氣潔凈度級別，可采用粒子計數器檢測。

4.自凈時間的檢測。通過確定自凈時間，查明潔凈室內部發(fā)生污染時恢復其原有潔凈度的能力。

5.氣流流型檢測。

6.噪聲的檢測。

7.照度的檢測。照度檢測的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻性。

8.振動的檢測。振動檢測的目的是為了判明無塵室各表明的振動幅度。

9.溫、濕度的檢測。溫、濕度檢測的目的是把溫度、濕度調整到一定限度內的能力。其內容包括檢測無塵室的送風溫度，檢測有代表性測點的空氣溫度，檢測無塵室中心點的空氣溫度，（公眾號：芯片智造）檢測敏感元件處的空氣度，檢測室內空氣相對溫度，檢測回風溫度。

10.總風量和新風量的檢測。

免責聲明：本文采摘自“ 芯片智造”，本文僅代表作者個人觀點，不代表薩科微及行業(yè)觀點，只為轉載與分享，支持保護知識產權，轉載請注明原出處及作者，如有侵權請聯系我們刪除。

上一篇：: GD32 MCU生態(tài)更新！亮點頻現

下一篇：: ?目標主驅！這家SiC企業(yè)與清華大學聯手了！

芯片無塵室的構成與檢測

客服QQ2635709730

客服QQ
2635709730