2025-07-28
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              一、什么是分子束外延(MBE)?    分子束外延(Molecular Beam Epitaxy, 簡稱MBE)是一種在超高真空條件下,通過將高純度元素以原子或分子束的形式沉積在加熱的晶圓襯底表面,進行原子級控制的薄膜外延生長的技術。這項技術能夠以極高的精度控制外延層的厚度、組分和界面結構,適用于生產高性能化合物半導體材料。    二、MBE的設備組成與工作流程    MBE設備并非一個簡單的真空爐,它是一個多腔室、超高精度的材料沉積平臺。            圖片來源:論文《分子束外延設備國內外進展及
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