2024-09-21
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晶面和晶向是晶體學(xué)中兩個(gè)核心的概念，它們與硅基集成電路工藝中的晶體結(jié)構(gòu)有密切的關(guān)系。 1. 晶向的定義與性質(zhì) 晶向代表晶體中一個(gè)特定方向，通常用晶向指數(shù)來表示。晶向通過連接晶體結(jié)構(gòu)中任意兩個(gè)晶格點(diǎn)來定義，并且有以下幾個(gè)特性：每個(gè)晶向上都包含無窮多個(gè)格點(diǎn)；同一個(gè)晶向可以有多個(gè)平行的晶向組成一個(gè)晶向簇；晶向簇覆蓋晶體中的所有格點(diǎn)。 晶向的重要性在于它標(biāo)定了晶體內(nèi)原子排列的方向性。比如，[111]晶向代表的是一個(gè)特定方向，其中三個(gè)坐標(biāo)軸的投影比例為1:1:1。 2. 晶面
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